无尘室特性:

1、耐久性:

无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料.而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造.半导体Fabs倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质.

2、清洗:

在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性.在biotech市场,清洗真正地是一个最重要的企业.

3、成本:

微电子C/R建设费可能花费到$10亿.fab能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场.许多半导体公司的口号是较便宜和较好的.然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素.

4、适应性:

一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极大的损失.C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键,所以他们从不将最初的设计定型.

5、可维护性:

对无尘室C/R而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分.至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级.在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说:若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须精确.